半导体分立器件测试仪【818Y】

1、功能范围：

可对各类型Si·二极管、Si·MOSFET、Si·IGBT和SiC·二极管、SiC·MOSFET、SiC·IGBT等分立器件的各项动态参数如开通时间、关断时间、上升时间、下降时间、导通延迟时间、关断延迟时间、开通损耗、关断损耗、栅极总电荷、栅源充电电量、平台电压、反向恢复时间、反向恢复充电电量、反向恢复电流、反向恢复损耗、反向恢复电流变化率、反向恢复电压变化率、集电极短路电流、输入电容、输出电容、反向转移电容、栅极串联等效电阻、雪崩耐量进行测试。

2、环境要求

1、环境温度：15—40℃

2、相对湿度：存放湿度不大于70%

3、大气压力：86Kpa—106Kpa

4、电网电压：AC220V±10%无严重谐波

5、电网频率：50Hz±1Hz

6、电源功率：20KW

7、供电电网功率因数：＞0.9

8、气源要求：≥0.6Mpa

9、无较大灰尘，腐蚀或爆炸性气体，导电粉尘等空气污染的损害。

3、主要技术指标：

设备技术指标要求如下：

1、（阻性/感性）开关测试单元

• 漏极电压测试范围：5V-1500V，5V-100V，步进0.1V，

100V-1500V，步进1.0V；

• 漏极电流测试范围：1A-300A，分辨率1A；

• 栅极驱动：±30V，分辨率0.1V；

• 最大栅极电流：2A；

• 最大脉冲电流：300A；

• 电源电压（VDD）：5V-100V，步进0.1V，

100V-1500V，步进1.0V。

• 脉冲宽度：1us-100us,步进0.1us

• 时间测试精度：1ns；

• 感性负载：0.01mH-160mH程序控制，步进10uH；

• 阻性负载：1Ω、2Ω、5Ω、10Ω、50Ω，程序控制，备用三个电阻，以便使用时选择。

• 开通/关断时间ton/toff：5-10000ns

• 开通/关断延迟td(on)/td(off）：5-10000ns

• 上升/下降时间tr/tf：5-10000ns

最小分辨率1ns

• 开通/关断损耗Eon/Eoff：1-2000mJ

最小分辨率1uJ

2、栅极电荷单元

• 驱动电流：0-2mA，分辨率0.01mA，

2-20mA，分辨率0.1mA；

20mA-200mA，分辨率1mA。

• 栅极电压：±30V，分辨率0.1V；

• 恒流源负载：1-25A，分辨率0.1A，

25-300A，分辨率1A；

• 漏极电压：5-100V，步进0.1V，

100-1500V，步进1.0V。

• 栅极电荷Qg：1nC-100µC

• 漏极电荷Qgs：1nC-100µC

• 源极电荷Qgd：1nC-100µC

• 阈值电荷Qgth：1nC-100µC

最小分辨率1nC

• 平台电压Vgp：-30-0V,分辨率0.1V

0-30V，分辨率0.1V

3、反向恢复测试单元

• 正向电流：1A-25A，分辨率0.1A，

25A-300A，分辨率1A；

• 反向电压：5v-100V，步进0.1V，

100V-1500V，步进1.0v；

• 反向恢复时间Trr：10ns-10000ns，最小分辨率1ns；

• 反向恢复电荷Qrr：1nC-100µC，最小分辨率1nC；

• 反向恢复电流Irm：1A-300A；

• 反向恢复损耗Erec：1-2000mJ，最小分辨率1uJ；

• 电流下降率dif/dt：50-10kA/us；

• 电流恢复率dir/dt：50-5kA/us

• dv/dt：50-10kV/us。

• Ta，Tb，SF(软度因子)

4、反偏安全工作区RBSOA

• 600A(2倍额定电流下，测试期间关断电压、电流)。

5、短路安全工作区SCSOA

• 一次短路电流Isc：1A-1000A，分辨率1A；

• 脉冲宽度5us-10us，步进0.1us。

6、结电容

• 电容测试扫频范围：0.1MHz～1MHz；

• 漏源极电压：200V，分辨率1V。

• Ciss、Coss、Cres

7、栅极电阻

• 栅极电阻范围： 0.1～50ohm；分辨率0.1Ω；

• 漏极偏置电压： 0～1500V；

• 栅极偏置： ±20V。

8、雪崩耐量

• 最大雪崩击穿电压≥2500V；

• 雪崩电流：200A；

• 感性负载：0.01mH～100mH连续可调，步进10μH；

• 可测试单次雪崩、重复雪崩。

Ø 系统功能

• 系统采用图形化操作界面，界面友好、易操作，具有控制及监测界面编辑功能。

• 系统对测试过程中的数据能进行实时记录、运算、存储、分析；采集及记录频率要求和示波器采样频率一致，示波器刻度和采样点数均可以设置。

• 在被试品性能测试过程中，能实时监控试验电源、测量和分析相关电参数的功能，能实时监控被试品的各项参数指标，能实时监测加热基板的温度，可根据采集值和限制值进行相关报警；测试参数和相关监控参数均可在软件上显示和设置。

• 设备能对系统的状态进行检测，如系统有故障，能发出故障信号和对主要故障进行提示。

• 该设备能够借助虚拟仪器系统中的I/O实现系统的控制功能。

• 设备高度自动化，能实现数据后台处理，分析，并上传数据至后台数据库实时监控比对。

• 在测试过程中，如有的测试单元有故障，可手动结束测试。

• 实现计算机的指令信息以及来自测试平台的状态信息的综合处理功能。

• 当被测器件短路时，系统具有短路检测及保护功能。

• 测试负载电感能通过测试系统实现自动切换。

• 通过扫描枪输入被测器件编码型号。

• 设备通过计算机实现对数据的采集和处理，显示不同参数的测试结果。

• 当被测器件短路时，系统具有短路检测及保护功能。

• 测试平台的安全系统由测试电路及电源、各种保护、门安全系统等组成，在设备后门没有关闭的情况下，设备不能带电。

• 测试夹具是一个固定的独立系统，不同器件配备不同的适配器。

• 该设备设置有紧急停止功能。

• 该测试台各部分技术成熟可靠、结构尽量紧凑，外形美观，具有良好的测试稳定性能。