产品名称：wafer TC（蓝宝石、硅片衬底）

分度号：K/T/R/PLII

被覆材质：石英、陶瓷纤维、TEF

规格：2、4、5、6、8、12寸

测温范围：0~1100℃

精度：I级

适用场所：平面测温

行业内名称：晶圆测试仪